下载电镀方法的技术资料

文档序号:3200491

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说明了通过电镀在半导体片上形成电极的方法,该方法能够在电镀过程中可靠地防止电镀液渗漏。电镀方法包括下列步骤:在半导体片上形成导电层;在导电层上形成负抗蚀层;将负抗蚀层的中心部分曝光;在将负抗蚀层的中心部分曝光的步骤之后将负抗蚀层的周围区域曝...
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