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文档序号:3200425
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提供了一种能够确保完全的增强型工作,并能够实现一种在低失真、高效率方面性能优异的功率晶体管的半导体器件。在单晶GaAs衬底(1)的一侧上,按顺序形成AlGaAs第二阻挡层(3)、InGaAs沟道层(4)、InGaP第三阻挡层(12)和第一阻...
该专利属于索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼株式会社授权不得商用。
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