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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3200419
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本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。在具有电路元件的晶圆状的半导体芯片(12’)的主表面(12a)上,形成面对电路元件的钝化膜(20’),使得主表面中沿该主表面的端边的第一区域(30)露出。然后,形成绝缘膜22,使之沿该钝化膜的主表面(2...
该专利属于冲电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过冲电气工业株式会社授权不得商用。
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