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本发明涉及一种装置，该装置包括：一转移单元，该转移单元处于大气条件之下且其中具有一机械手；和至少一个处理腔室，该处理腔室连接到转移单元的一侧且在该处理腔室与该转移单元之间具有一槽阀，且可交替地处于真空条件和大气条件之下。...
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