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一种用于一衬底处理工件的传送处理室，其包含具有侧墙的一主体，其中侧墙适于耦接到至少一处理室与至少一负载阻隔处理室。主体容纳一机械人手臂的至少一部分，该机械人手臂适合用于在处理室与负载阻隔处理室间加以传送衬底。一盖件耦接至传送处理室的主体的一...
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