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与非门型闪存存储单元列及其制造方法技术
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文档序号:3200123
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一种与非门型闪存存储单元列及其制造方法。其存储单元列,包括第一、第二层叠栅极结构;控制、浮置栅极;栅间介电层、隧穿介电层、掺杂区以及源区/漏区。第一层叠栅极结构具有擦除栅极介电层、擦除栅极与覆盖层。第二层叠栅极结构具有选择栅极介电层、选择栅...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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