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一种具有可变快门的曝光机台及其曝光方法，该曝光机台是用于半导体制作的曝光机台，该曝光机台包括有一光源、一具有可变透光区域的快门组件以及一透镜组。其中，快门组件可由多个三叶片所组成，并使用步进马达调整三叶片的相对位置以构成可变的透光区域，而透...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。

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