温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种在图样化衬底的处理过程中确定感兴趣的参数的方法，该方法包括：获得测量的净反射光谱，该反射光谱通过用具有宽带光谱的光束照射图样化衬底的至少一部分产生；计算建模的净反射光谱，作为构成图样化衬底的部分的不同区域的反射系数的加权非相干和；以及，...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。