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鉴于形成微细孔的工艺条件，提供一种可以稳定地形成所述微细孔而且在大型玻璃基板上也能稳定得到高性能薄膜晶体管的半导体装置的制造方法。本发明的半导体装置的制造方法，包括：在基板（１１）上形成基底绝缘膜（１２１）的工序；在基底绝缘膜（１２１）上形...
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