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半导体器件测试装置制造方法及图纸
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文档序号:3199805
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通过简单的结构同时测试半导体器件。锁存电路(13a)~(13d)锁存从输入了同一测试信号test的DUT(12a)~(12d)输出的输出信号。P-S转换电路(15)在锁存周期内顺序地输出期望值信号exp和锁存信号Dout1~Dout4,该期...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
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