专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
富士通株式会社
>
强电介质电容器的制造方法技术
>技术资料下载
下载强电介质电容器的制造方法的技术资料
文档序号:3199688
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
在制造阵列状排列存储单元阵列的强电介质存储器时,在层间绝缘膜上形成Al↓[2]O↓[3]膜、Pt膜(3)、PZT膜(4)及IrO↓[2]膜(5)。另外,在形成上部电极时,在用具有向行方向延伸的部分的抗蚀剂掩模进行了IrO↓[2]膜(5)的图...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。