下载强电介质电容器的制造方法的技术资料

文档序号:3199688

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在制造阵列状排列存储单元阵列的强电介质存储器时,在层间绝缘膜上形成Al↓[2]O↓[3]膜、Pt膜(3)、PZT膜(4)及IrO↓[2]膜(5)。另外,在形成上部电极时,在用具有向行方向延伸的部分的抗蚀剂掩模进行了IrO↓[2]膜(5)的图...
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