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利用动态液体弯液面的基板处理方法和系统技术方案
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下载利用动态液体弯液面的基板处理方法和系统的技术资料
文档序号:3199679
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一种用于将弯液面从第一表面移动到第二表面的系统和方法,其包括在接近头与第一表面之间形成弯液面。该弯液面可以从第一表面移动到相邻的第二表面,并且该相邻的第二表面平行于第一表面。该用于移动弯液面的系统和方法也可以用于沿基板的边缘移动弯液面。...
该专利属于拉姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉姆研究公司授权不得商用。
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