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本公开提供一种半导体结构的制作方法及电子设备,所述方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底上形成有至少两个栅堆叠;在半导体衬底上淀积非晶碳层,非晶碳层覆盖栅堆叠;在非晶碳层上形成掩模图形,以露出目标部位的非晶碳层的顶表面;使用掩模图形作为刻蚀掩...该专利属于真芯(北京)半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。
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本公开提供一种半导体结构的制作方法及电子设备,所述方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底上形成有至少两个栅堆叠;在半导体衬底上淀积非晶碳层,非晶碳层覆盖栅堆叠;在非晶碳层上形成掩模图形,以露出目标部位的非晶碳层的顶表面;使用掩模图形作为刻蚀掩...