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光学微系统和制造工艺技术方案
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文档序号:3199496
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本发明涉及用于小型照相机或小型矩阵显示器的光学微系统的制造。建议应当在半导体晶圆的正面上共同制造N个点阵阵列和相关的电路,以制造N个相同的芯片(10),在每个阵列的一侧具有外部连接区(CC);共同形成用于共同形成N个相同光学图像形成结构的平...
该专利属于ATMEL格勒诺布尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过ATMEL格勒诺布尔公司授权不得商用。
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