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本发明提供可以更为安全、简单并且可靠地将晶片分离并且能够提高进行晶片分离的处理速度的晶片分离方法、晶片分离装置及使用了该晶片分离装置的晶片分离机。在从该最上层的晶片的惯析线轴（Ａ－Ａ’、Ｂ－Ｂ’）绕顺时针或逆时针错开了角度１５°～７５°的轴...
该专利属于三益半导体工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三益半导体工业株式会社授权不得商用。

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