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一种基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件，属于传感器技术领域。本发明由带ＳｉＯ↓［２］层的硅衬底、引脚、曲折状三明治结构软磁多层膜和偏置永磁体组成，引脚从多层膜两端的铜层引出，并设置在衬底上，整个曲折状三明治结构软磁多层膜位于带ＳｉＯ↓［２...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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