下载记忆单元的技术资料

文档序号:3199163

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在位于沟槽记忆单元的例子中,一包含第一氧化物层(1)、一氮化物层(2),以及一面对栅极的第二氧化物层(3)的层序列,存在于侧向沟槽壁上,而该氮化物层(2)则不存在于沟槽底部的弯曲区域(4)之中。在一可取代配置中,至少一阶段(step)的每个...
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