温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种抛光装置，所述抛光装置包括：　　　　一个其上具有一抛光面的抛光工作台；　　　　一个使得一个工件得以压靠于所述抛光面上的顶环，所述顶环具有一个壳体以及一个可在所述壳体中垂直移动以支撑所述工件之外周缘的限位环；　　　　一个可使得所述顶环垂直...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。