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一种材料处理系统，包括：　　　　处理设备，其中该处理设备包括至少一个处理室；　　　　耦接到所述处理设备的多个ＲＦ响应零件标识器，ＲＦ响应零件标识器被配置为对所述处理设备生成零件ＩＤ数据，并发射所述零件ＩＤ数据；以及　　　　传感器接口组件（Ｓ...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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