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一种曝光装置，用于以规定图案像使衬底曝光，其特征在于包括：　　　　使上述规定图案像投影到衬底上的投影光学系统；　　　　向上述投影光学系统和衬底之间供给液体的液体供给装置；以及　　　　除去包含在供给上述投影光学系统和衬底之间的液体中气体成分的...
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