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本发明的课题是能够定性且定量地评价在被检查体的重复图样中产生的波纹缺陷，从而高精度地检测该波纹缺陷。作为解决手段，本发明的波纹缺陷检查装置（１０）检查在具有多个单位图样规则排列而成的重复图样的光掩模（５０）的所述重复图样中产生的波纹缺陷，其...
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