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用于外延腔室的隔热组件制造技术
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下载用于外延腔室的隔热组件的技术资料
文档序号:31977665
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本文公开的是一种用于处理腔室的隔热组件。处理腔室包括主体,该主体具有侧壁、底部和盖件,该侧壁、该底部和该盖件限定内部空间。隔热组件设置在内部空间中,且包括隔热件和预热构件。预热构件包括内圆周,并定位于隔热件下方。基座设置在内部空间中并经配置...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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