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本实用新型公开了一种半导体元器件制造用废气净化处理装置，包括有二级过滤装置，二级过滤装置包括有过滤箱、安装在过滤箱内部带有通孔的四个挡板，四个挡板形成有三个填充层，过滤箱下端连通有一级过滤装置，一级过滤装置包括有溶液箱、竖向安装在溶液箱内部...
该专利属于环世（天津）检验检测有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环世（天津）检验检测有限公司授权不得商用。

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