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通过差别平面化形成的凸出金属部分及其制造方法技术
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文档序号:3197421
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一种形成微电子结构的方法,其特征在于,包括: 在基片层中形成一系列金属层,系列中的这些金属层由金属间间隙分开; 平面化所述金属层和基片层以形成基本平面的表面; 差别平面化所述基本平面的表面,以降低相对于金属层的水平高度的基...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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