下载通过差别平面化形成的凸出金属部分及其制造方法的技术资料

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一种形成微电子结构的方法,其特征在于,包括:    在基片层中形成一系列金属层,系列中的这些金属层由金属间间隙分开;    平面化所述金属层和基片层以形成基本平面的表面;    差别平面化所述基本平面的表面,以降低相对于金属层的水平高度的基...
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