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本发明公开一种具有横向达通二极管的电阻(R)-电容(C)-二极管(D)网络薄膜集成电路结构及制作,采用普通硅片(P)制作具有高导电层和过冲电压保护的网络薄膜集成电路,不采用硅外延或外延工艺,并且缩短工艺流程,降低集成电路制造成本。本发明中硼...该专利属于黑龙江八达通用微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过黑龙江八达通用微电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种具有横向达通二极管的电阻(R)-电容(C)-二极管(D)网络薄膜集成电路结构及制作,采用普通硅片(P)制作具有高导电层和过冲电压保护的网络薄膜集成电路,不采用硅外延或外延工艺,并且缩短工艺流程,降低集成电路制造成本。本发明中硼...