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双面蚀刻晶片的方法技术
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文档序号:3197413
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一种双面蚀刻晶片的方法,首先,提供一晶片,该晶片包括至少一旋转轴区与至少二穿透区,且该二穿透区位于该旋转轴区的二侧。接着由该晶片的一底表面去除部分位于该旋转轴区的该晶片。随后将该晶片的底表面利用一粘着层粘贴于一负载载具上,并由该晶片的上表面...
该专利属于探微科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过探微科技股份有限公司授权不得商用。
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