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半导体装置及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3196968
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提供一种半导体装置及半导体装置的制造方法,既能缓解场电极的配置制约,又能形成场电极。在半导体基板(101)上依次形成绝缘层(102)、半导体层(103)、绝缘层(104)和半导体层(105),在半导体层(105)上配置栅电极(107),同时...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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