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一种干蚀刻方法，能够把被加工层加工成微细图案且周缘部有棱角的形状，用这种干蚀刻方法沿相当于蚀刻图案的轮廓的第一掩膜层（２０）的周缘部形成向磁性薄膜层（被加工层）（１８）的对面侧突出的突部（２１）。...
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