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本发明是用来制造｛１１０｝面的载流子移动度，特别是作为ｎ型ＦＥＴ的载流子的电子的移动度显示出高的值的半导体集成电路元件用的半导体基板，不使用特别的洗净而是使用以往的ＲＣＡ洗净、或不进行自由基氧化而以原子级使表面平坦化，而提供一减低表面粗糙度...
该专利属于信越半导体株式会社;大见忠弘所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体株式会社;大见忠弘授权不得商用。

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