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文档序号:3196127

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一种可控硅整流器型ESD保护元件,抑制了电流密度的偏在,使得静电保护电路的面积更小。在半导体衬底的表面上形成了n型阱(11)和夹隔n型阱(11)而分别与其相对、接近的p型阱(12a、12b)。还有,在p型阱(12a)的表面上形成了高浓度n型...
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