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本发明提供一种基板搬运器，至少包含一可沿一第一运动轴定位的滑架；一第一基板抓持器，其连接至该滑架而且可相对于该滑架沿一实质上垂直该第一运动轴的第二运动轴定位；及一第二基板抓持器，其连接至该滑架而且可相对于该滑架沿一实质上平行于该第二运动轴的...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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