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结晶膜的制造方法、结晶膜附着基体的制造方法、热电转换元件的制造方法技术
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文档序号:3195331
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在热电转换元件等功能元件中,有适合外延生长的基体与使用时期望的基体并不一致的情况。本发明中,通过水蒸气的作用,使得基体上形成的规定的层状结构与基体分离。本发明的结晶膜的制造方法包含:在基体上使含有层状结构的结晶膜外延生长,使得所述层状结构与...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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