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一种金属硅化层的制造方法，此方法是于一衬底上形成至少一栅极。然后于此栅极表面形成硬掩模层，并暴露出衬底表面。之后，于暴露出的衬底表面上形成第一金属硅化层，其中，此第一金属硅化层为硅化钴与硅化钛其中之一。接着，去除硬掩模层，以及于栅极表面形成...
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