下载集成太阳电池的制备方法的技术资料

文档序号:3195005

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一种集成太阳电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:以半绝缘砷化镓单晶片为衬底;步骤2:利用金属有机化合物气相沉积法和液相外延生长技术,生长太阳电池外延片;步骤3:采用多次刻蚀、镀膜及合金工艺将太阳电池外延片分隔成多个单元;步骤4...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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