下载枝晶生长控制电路和用于控制互连枝晶生长的方法的技术资料

文档序号:3194810

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本发明提供了一种电路,其由于枝晶形成电流,防止在半导体器件处理过程中互连上的枝晶形成。该电路包括设置在枝晶形成电流路径的至少一个中的开关。该开关配置为在处理过程中“开路”或处于“截止”状态,以及配置为在处理之后“闭合”或处于“导通”状态,以...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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