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本发明提供一种测量一掩模设计图形的线宽的方法与系统。该方法包含有：建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩...
该专利属于盟图科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盟图科技股份有限公司授权不得商用。

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