下载一种晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:3194526

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本发明公开了一种利用热膨胀系数不向于基底的插塞构成的双轴应变的晶体管和单轴应变的晶体管及其制造方法,若插塞的热膨胀系数比基底大,则于主动区可形成双轴拉伸应变通道的晶体管;若插塞的热膨胀系数比基底小,则于主动区可形成双轴压缩应变通道的晶体管;...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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