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本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了晶圆清洗阀门装置，包括阀门外壳，阀门外壳的顶部焊接有固定块，固定块的顶部焊接有支撑连板，支撑连板的顶部固定连接有机罩外壳，机罩外壳的内部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有轴杆。本实用新型中...
该专利属于深圳市栗橡科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市栗橡科技有限公司授权不得商用。

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