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本发明涉及一种将一种或几种化合物气相沉积到基体上的方法，该方法包括：ｉ）以固态或气态将该化合物供入载体气流中，ｉｉ）所述化合物以气态存在于载体气流中，ｉｉｉ）凝结该气态化合物，ｉｖ）将步骤（ｉｉｉ）中凝结的化合物返回气态，和ｖ）随后该气态化...
该专利属于巴斯福股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过巴斯福股份公司授权不得商用。

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