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一种形成无应力浅沟渠隔离（ｓｈａｌｌｏｗ　　ｔｒｅｎｃｈ　　ｉｓｏｌａｔｉｏｎ，ＳＴＩ）结构的方法，于浅沟渠隔离结构的沟渠表面沉积一非晶硅层，并以高温氧化的方式将非晶硅层氧化为二氧化硅层，以作为沟渠的衬底氧化层。此种衬底氧化层整体的厚度皆会...
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