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液压静力衬垫（３２）和液压静力衬垫（３４）保持晶片（Ｗ）和其上安置该晶片的台（ＴＢ）。液压静力衬垫（３２）将轴承表面和晶片（Ｗ）之间在投影光学系统（ＰＬ）的光轴方向上的距离维持在预定值。另外，因为液压静力衬垫与静压气体轴承不同，液压静力衬垫...
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