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本发明涉及一种ＸｅＦ↓［２］腐蚀过程中锚的制作方法，其特征在于将ＳｉＯ↓［２］、ＳｉＮｘ、ＳｉＣ、Ａｕ、Ａｌ及Ｃｒ等ＸｅＦ↓［２］气体几乎不腐蚀的材料淀积在要保护的锚周围，形成所需要的锚；或者直接采用ＸｅＦ↓［２］气体几乎不腐蚀的材料来制作...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种ＸｅＦ↓［２］腐蚀过程中锚的制作方法，其特征在于将ＳｉＯ↓［２］、ＳｉＮｘ、ＳｉＣ、Ａｕ、Ａｌ及Ｃｒ等ＸｅＦ↓［２］气体几乎不腐蚀的材料淀积在要保护的锚周围，形成所需要的锚；或者直接采用ＸｅＦ↓［２］气体几乎不腐蚀的材料来制作...