下载包括具有能带工程超晶格的MOSFET的半导体器件的技术资料

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一种半导体器件,包括衬底和至少一个与衬底相邻的MOSFET。MOSFET包括又包括多个堆叠的层组的超晶格沟道。MOSFET也可包括侧面与所述超晶格沟道相邻的源和漏区,以及重叠在超晶格沟道上面的栅极,用于使载流子在相对于堆叠层组平行的方向上通...
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