下载纵型栅极半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3193921

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种纵型栅极半导体装置及其制造方法。目的在于:提供一种在不增大源极区域的接触电阻的情况下,可谋求小型化的纵型栅极半导体装置及其制造方法。发挥晶体管作用的第1区域11,具有:漏极区域111、形成在漏极区域111上侧的体区域112、...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。