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本实用新型涉及喷淋头设备技术领域，具体为一种ALD半导体设备的气体喷淋头，包括喷淋头本体、拆装机构、通孔和固定机构，所述喷淋头本体的顶部连接设置有连接管，且喷淋头本体的内部设置有腔体，并且喷淋头本体的底部连接设置有喷淋盘，所述喷淋盘的两端皆...
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