下载CMOS图像传感器中的光电二极管及其制造方法的技术资料

文档序号:3193516

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本发明公开了一种CMOS图像传感器中的光电二极管及其制造方法,通过该光电二极管,以增加光电二极管区域尺寸的方式,增强电荷聚集能力。本发明包括:第一外延层,形成在半导体衬底上;第一光电二极管区,形成在第一外延层的预定表面区域中;第二外延层,形...
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