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半导体器件制造技术
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文档序号:3193415
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一种半导体器件,包括:栅电极,经由栅极绝缘膜形成在与沟道区域对应的硅衬底上;p型源极和漏极区域,形成在栅电极上的侧壁绝缘膜各外侧的硅衬底中;一对SiGe混晶区域,形成在侧壁绝缘膜各外侧的硅衬底中且与硅衬底为外延关系,以便分别被源极区域和漏极...
该专利属于富士通微电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通微电子株式会社授权不得商用。
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