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文档序号:3193231

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一种半导体薄膜,其形成有横向生长区,它是柱状或针状晶体的集合,其通常平行于衬底伸展。用具有等效能量激光或强光对半导体薄膜进行照射,结果使相邻的柱状或针状晶体结合在一起,形成实质上没有晶界的区域,即实质上可看作单晶的单畴区。半导体器件可通过使...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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