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文档序号:3193011
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本发明提供能够防止栅电极下面的绝缘膜因受安装时压力的影响而发生断裂的半导体装置及其制造方法、半导体装置的设计方法。该半导体装置包括:设于硅衬底(1)上的晶体管;设于硅衬底(1)上,以覆盖该晶体管的层间绝缘膜(21);隔着Al焊盘(31)设于...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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