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晶片处理装置制造方法及图纸
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文档序号:3192922
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本发明提供一种晶片处理装置,在加热板上通过粘合用石蜡来粘附夹具和晶片,通过第一搬送机构、姿态变换机构、推动器以及第二搬送机构,将粘合了晶片的夹具从加热板搬送到处理用搬送机构,该处理用搬送机构将粘合了晶片的夹具浸渍到被贮存在处理槽内的处理液中...
该专利属于大日本网目版制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网目版制造株式会社授权不得商用。
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